الجهاز يعمل بطريقة النانوتكنولوجي حيث يمتاز بقابلية فحص العينات الغير موصلة بدون معاملات كما يمكن تكبير الصورة إلى أكثر من مليون مرة؛ الجهاز يحتوي على (EDS spectrophotometry) وعلى سبعة أنواع من (detectors) هي (X-ray, TEM, Coolstage, VPSE, SE1, SE2, EBSD) مما يتيح له إعطاء نتائج مشابهة للمجهر الالكتروني نوع (TEM). بالاضافة ان الجهاز يفحص     تسع عينات في نفس الوقت وبنفس حالتها الطبيعية وهذا ما يميزالجهاز عن الأنواع الأخرى بإمكانية إعطاء دقة متناهية وبأقل فولتية.مثل فحص ماداخل الخلية وال(DNA)وكذلك في فحص بعض البوليمر